【摘 要】
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<正>CVD和PVD TiN,TiC,TiCN,TiAlN等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用,但仍然不能满足许多难加工材料,如高硅铝合金,各种有色金属及其合金,
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<正>CVD和PVD TiN,TiC,TiCN,TiAlN等硬质薄膜涂层材料已经在工具、模具、装饰等行业得到日益广泛的应用,但仍然不能满足许多难加工材料,如高硅铝合金,各种有色金属及其合金,工程塑料,非金属材料,陶瓷,复合材料(特别是金属基和陶瓷基复合材料)等加工要求。正是这种客观需求导致了诸如金刚石、立方氮化硼(c-BN)和碳氮膜(CNx)等新型超硬薄膜材料的研究进展。CVD金刚石薄膜涂层硬质合金工具和模具显示了极其优越的切削性能,尽管金刚石膜涂层与硬质合金的结合力仍有很大的提高余地,尽管在金刚石薄膜涂层刀具的批量生产过程中的质量控制和重复性依然不够理想,但是
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