【摘 要】
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将计算全息(Computer-Generated Hologram，CGH)作为波面发生器引入数字移相干涉仪中，以实现非球面型的快速、高精度检验。详细介绍了CGH的设计方法、加工过程以及配合干涉仪对非球面进行检测的实验步骤。对CGH位相分布求取、载频选取、CGH与干涉仪配合校准所涉及的关键问题展开了讨论，并提出了一些全新的设计理念和方法。从理论上定量分析了CGH片基面型误差、全息图样偏差、刻蚀深度
【机 构】
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北京理工大学信息科学技术学院光电工程系,北京市,100081 北京航空精密机械研究所精密制造技术航
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将计算全息(Computer-Generated Hologram，CGH)作为波面发生器引入数字移相干涉仪中，以实现非球面型的快速、高精度检验。详细介绍了CGH的设计方法、加工过程以及配合干涉仪对非球面进行检测的实验步骤。对CGH位相分布求取、载频选取、CGH与干涉仪配合校准所涉及的关键问题展开了讨论，并提出了一些全新的设计理念和方法。从理论上定量分析了CGH片基面型误差、全息图样偏差、刻蚀深度不均匀性和线宽不均匀性对再现波面的影响，得出了相应的误差公式。利用设计的测量系统对一个二次抛物反射面进行了实际测量，测量精度达到λ/12。
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