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利用MonteCarlo方法,采用周期性边界条件,并基于ABO3型氧化物晶胞自组装特性和SolidonSolid模型,对ABO3型多元氧化物薄膜的同质外延生长的生长模式进行了计算机模拟.模拟中考虑了晶胞在基底表面上的扩散,以及在层间的扩散.选取合适的模拟参数条件,模拟出了(BaSr)TiO3(BST)外延薄膜生长的形貌演化图;得到了薄膜生长条件与薄膜生长模式之间的关系.该模拟结果与文献报道的对BST和PbTiO3这类ABO3型薄膜的实验观察结果相吻合.