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研究了LD抽运YAG激光烧蚀W,Ta,Nb,Fe等金属和单晶硅、金刚石等材料的速率与机理,结果表明材料的熔点、沸点、导热性、晶体结构等参数对激光烧蚀速率影响很大.对激光烧蚀的物理模型进行了初步分析.
激光微区烧蚀典型工程材料的机理研究
【摘 要】
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研究了LD抽运YAG激光烧蚀W,Ta,Nb,Fe等金属和单晶硅、金刚石等材料的速率与机理,结果表明材料的熔点、沸点、导热性、晶体结构等参数对激光烧蚀速率影响很大.对激光烧蚀的物理模型进行了初步分析.
【机 构】
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华中科技大学激光技术国家重点实验室,激光加工国家工程研究中心(武汉) Optical Instit
【出 处】
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第十五届全国激光学术会议
【发表日期】
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2001年9期
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