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介绍了一种由Nd:YAG构成的激光除垢实验设备,分析了其主要的光学参数设计,对其功率密度进行了计算,判断其能满足激光清除硅片油脂的要求。
一种由Nd:YAG构成的激光除垢实验设备
【摘 要】
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介绍了一种由Nd:YAG构成的激光除垢实验设备,分析了其主要的光学参数设计,对其功率密度进行了计算,判断其能满足激光清除硅片油脂的要求。
【机 构】
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厦门大学机电工程系
【出 处】
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仪器仪表学报
【发表日期】
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2002年期
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