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本文提出了一种新的双端固支梁MEMS谐振器电器等效模型的建立方法.与传统的首先计算梁等效质量的方法不同,它首先计算等效弹性系数.首先对传统的建模方法进行了阐述,接着介绍新的建模方法,最后对一个特定尺寸的固支梁谐振器用两种方法进行建模并利用ADS仿真.
双端固支梁MEMS谐振器的建模与仿真
【摘 要】
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本文提出了一种新的双端固支梁MEMS谐振器电器等效模型的建立方法.与传统的首先计算梁等效质量的方法不同,它首先计算等效弹性系数.首先对传统的建模方法进行了阐述,接着介绍
【机 构】
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电子科技大学电子工程学院 四川成都 611731
【出 处】
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中国电子学会电路与系统学会第二十三届年会
【发表日期】
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2011年期
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