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在过去十年中，MEMS技术的快速发展为实现分析仪器的微型化，集成化，智能化，降低分析仪器的成本提供了新的机遇和技术支持。低电压电泳芯片将分离管道划分成多个连续区带，分离电压施加在短的管道区带之上，进而在保证分离场强的基础上，降低整个分离体系的焦耳热效应。本文将SOI技术用于低电压电泳芯片的制作，基于阵列电极结构设计，以直流电压获得了低电压电泳分离所需的驱动力。