带增透膜的全耗尽型硅光电探测器

来源 :第九届全国化合物半导体.微波器件.光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:winningking
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介绍了一种具有较高灵敏度和量子效率的全耗尽型硅光电探测器,并给出了一组较为详细的实验结果。这种硅光电探测器有效地减小了入射光的反射,并提高了光子的内部量子效率。
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