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通过对镀膜过程的监测、数据采集与整理,建立数学模型并在matlab软件下的算法仿真与分析,对影响镀膜过程、镀膜质量的几个关键因素产生的原因进行了查找与分析,设计相应的解决方案,并且提出了一个膜系的偏差评价函数,这个函数可以综合评价镀膜的实际结果和目标结果的偏差,从而修正后续镀制的膜层.
薄膜沉积的影响因素和修正方法的研究
【摘 要】
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通过对镀膜过程的监测、数据采集与整理,建立数学模型并在matlab软件下的算法仿真与分析,对影响镀膜过程、镀膜质量的几个关键因素产生的原因进行了查找与分析,设计相应的解
【机 构】
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河南中光学集团,河南,南阳,473003
【出 处】
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五省一市光学学会联合年会暨十三省市光学学会联合年会
【发表日期】
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2008年9期
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