高精度复杂光学元件加工技术研究

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随着高科技的飞速发展,航天事业的不断推进,高精度复杂光学元件的应用越来越广泛,且精度要求越来越高。本文以本公司加工的激光陀螺腔体和全反射棱镜为例,腔体中孔的同轴度0.01mm、孔与孔的对称度0.02mm、全反射棱镜表面的粗糙度0.5nm,介绍了该复杂光学元件的加工技术研究及制作工艺,并着重叙述了该光学元件孔的加工(孔的同轴度、对称度)、超光滑表面的抛光方法及检测工艺技巧。
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