激光干涉制备二维纳米硅阵列及在提高光萃取效率中的应用

来源 :第二届全国纳米材料与结构、检测与表征研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lyllirui
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纳米硅(nc-Si)薄膜作为半导体材料中的重要一员,其制备方法及性能研究已经成为国际上的热点之一。本文利用一种激光干涉诱导结晶的方法,由激光光源与二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)相结合,产生二维分布的干涉激光束。
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