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提出一种新的具有高空间分辨力的整形环形光式差动共焦测量方法，该方法除可改善光触针传感器的空间分辨力、线性和系统抗干扰能力外，还实现了共焦测量法的双极性绝对测量及量程范围的扩宽。理论分析和实验表明，当入射激光束波长λ=632.8 nm，测量物镜数值孔径取NA=0.85，ε=0.5，uM=6.95时，该差动共焦传感器的横向分辨力优于0.2 μm，轴向分辨力优于2 nm。该差动共焦测量技术为光触针传感器空间分辨力的提高提供了一种新的方法，其除用于超精密三维微细结构工件的测量外，还可用于表面微观轮廓及微小尺度的超精密测量。