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引言最近几年,低功率微波放电的研究获得了足够重视,原因在于微波放电具有潜在的应用价值.例如,超燃冲压发动机点火技术,其燃料高速流动,传统的点火技术难于奏效,微波放电点燃高速燃料的研究可以解决该科技难题;再如,低气压大面积均匀表面波等离子体(SWP)源的开发,使得大规模集成微电子器件的等离子体处理能效得以提高;等等.