【摘 要】
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以C2H2和SF6作为源气体，通过等离子体增强的化学气相沉积制备了氟和硫掺杂的非晶碳基薄膜.(1)通过调节源气体的流量比，可以控制薄膜中S和F元素的相对含量，不同F含量的含S薄膜被制备；(2)利用Raman光谱和X-射线光电子能谱表征了薄膜的微观结构变化和化学键合状态.S和F原子均以共价键的方式键合在碳基网络结构中.
【机 构】
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中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 甘肃兰州730000;中国科学院大学,北京100049
【出 处】
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第七届全国青年表面工程学术会议暨重庆市第二届汽车摩托车摩擦学材料先进技术与应用推进会
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以C2H2和SF6作为源气体，通过等离子体增强的化学气相沉积制备了氟和硫掺杂的非晶碳基薄膜.(1)通过调节源气体的流量比，可以控制薄膜中S和F元素的相对含量，不同F含量的含S薄膜被制备；(2)利用Raman光谱和X-射线光电子能谱表征了薄膜的微观结构变化和化学键合状态.S和F原子均以共价键的方式键合在碳基网络结构中.
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