论文部分内容阅读
极大规模集成电路的发展对低介电常数绝缘介质薄膜提出了需求.本文介绍了低介电常数纳米多孔氧化硅薄膜的制备、结构和性能表征以及在ULSI中的应用前景.
低介电常数纳米多孔氧化硅薄膜
【摘 要】
：
极大规模集成电路的发展对低介电常数绝缘介质薄膜提出了需求.本文介绍了低介电常数纳米多孔氧化硅薄膜的制备、结构和性能表征以及在ULSI中的应用前景.
【机 构】
：
国防科技大学航天与材料工程学院CFC国防科技重点实验室(长沙)
【出 处】
：
全国第三届纳米材料和技术应用会议
【发表日期】
：
2003年期
其他文献
首次合成了一种新型的功能稀土配合物,并以此为插层剂,插入硅酸盐片层之间,进而制备了功能稀土配合物/黏土纳米发光中间体(简称稀土纳米发光中间体);对其结构和发光性能进行
报道了一种用于对硝基苯酚加氢的催化剂-纳米级非晶态NiB合金(粒径约49nm左右),采用XRD,SEM,Mastersizer 2000粒径分析仪对其进行了表征分析.并考察了其催化性能,结果表明,在
砂轮架主轴与滑动轴承的装配修理,在金切机床的维修技术中是技术性较强、修理和装配难度较大的一项技术工作.在砂轮架主轴与滑动轴承的装配与修理方面,我们经过多年的实践,掌
会议
本文研究了复合材料层合板的环境温度和纤维铺设方式对参激振动的影响.文中利用Von karman薄板大挠度理论推导了在均匀温度场下对称正交铺设层合板和规则非对称正交铺设层合
会议
本文从现代企业信息化管理的实际需求出发,提出并建立了具有BinB及B to C两种运作模式的电子商务网站模型.网站模型利用多种编程语言及网页制作工具,通过互联网将总公司和各
本文阐述了RTIZ的发展、工程冲突解决表、发明问题的级别、物质-场(S-场)分析、发明问题解决算法(ARIZ)和技术系统的演化.分析了国外在近几十年来在这些方面的研究进展,提出
远程诊断活动过程中产生大量的各类信息,对于今后的诊断活动具有极重要的参与应用价值,因此有必要对其进行有效的管理以便于再利用.在对多媒体信息管理系统进行功能需求分析
本文根据铸造砂型用射芯机的工艺要求,用PLC取代传统的大规模继电器—接触器控制,以实现全自动的生产过程;详细介绍了PLC控制系统的硬件选择及软件设计.
本文详细介绍了基于美国TI公司的新型超低功耗芯片MSP430F13X的温度采集仪的工作原理及软硬件设计方法,采用MSP430F13X的软件模拟A/D转换技术实现温度测量.该技术应用了MSP43
会议