【摘 要】
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反射式光栅位移传感器因其结构紧凑、受环境干扰小、信号稳定等优点,广泛应用于高精密测量领域.为提高光栅测量系统的精度等级,消除因安装导致的系统偏差,对测量误差进行补偿
【机 构】
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西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室
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反射式光栅位移传感器因其结构紧凑、受环境干扰小、信号稳定等优点,广泛应用于高精密测量领域.为提高光栅测量系统的精度等级,消除因安装导致的系统偏差,对测量误差进行补偿必不可少.本文采用分段式误差补偿方法,构建FPGA+ARM硬件构架,使用FPGA对信号进行模数转换、平均滤波、修正等处理,使用ARM对处理的结果进行误差补偿,通过串口将补偿结果发送给上位机输出测量结果.测试结果表明测量精度由补偿前的±3.77μm提高到补偿后的±0.28μm,实现光栅位移传感器的精度提升.
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