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用整体平行束Ｘ光透镜代替常规衍射仪的附加狭缝或索拉狭缝，衍射Ｘ光强度可提高１．５～５倍，分辨率可达０．４°，可用于薄膜、粉末样品和离子注入样品的分析。
用Ｘ光透镜的衍射装置
【摘 要】
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用整体平行束Ｘ光透镜代替常规衍射仪的附加狭缝或索拉狭缝，衍射Ｘ光强度可提高１．５～５倍，分辨率可达０．４°，可用于薄膜、粉末样品和离子注入样品的分析。
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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