【摘 要】
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本研究制备了背栅MoS2 薄膜场效应晶体管，并将其应用于葡萄糖浓度检测中.该器件包括三个Au/Ni(70nm/10nm)电极和一个葡萄糖溶液测试环境；其中器件的沟道材料为3 层二硫化钼薄膜，沟道材料的长度和宽度分别为1μm 和1.9μm.器件展示出良好的电学性能，其中，迁移率为25.4cm2/(v·s)；开关比高达107.实验结果表明，所加栅压为0.5V 时，器件的传感性能和稳定性最好.
【机 构】
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长春理工大学理学院,吉林省长春市卫星路7089 号,130022
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本研究制备了背栅MoS2 薄膜场效应晶体管，并将其应用于葡萄糖浓度检测中.该器件包括三个Au/Ni(70nm/10nm)电极和一个葡萄糖溶液测试环境；其中器件的沟道材料为3 层二硫化钼薄膜，沟道材料的长度和宽度分别为1μm 和1.9μm.器件展示出良好的电学性能，其中，迁移率为25.4cm2/(v·s)；开关比高达107.实验结果表明，所加栅压为0.5V 时，器件的传感性能和稳定性最好.
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