论文部分内容阅读
该文介绍了Ｓｏｌ－Ｇｅｌ法制备ＢｚｘＳｒ〈，１－ｘ〉ＴｉＯ〈，３〉（ＢＳＴ）铁电薄膜的工艺参数。在溶胶中加入一定体积百分含量的干燥化学控制添加剂（ＤＣＣＡ）可有效的防止薄膜开裂。比较了金属醇盐法和以部分醋酸盐代替醇盐法制备ＢＳＴ薄膜的微观结构和性能。实验结果表明，采用醇盐为原料制备的ＢＳＴ薄膜的性能较好。通过两种方法制备ＢＳＴ薄膜性能的差异，该文提出了两种方法成膜的机理。