【摘 要】
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用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)技术,在物理冶金多晶硅高效太阳电池表面间断性沉积三层氮化硅薄膜。优化工艺后用于小批量生产高效物理冶金多晶硅太阳电池(156×156mm2)。用椭圆激光偏振仪、紫外可见分光光度计、扫描电镜、少子寿命测试仪及BACCINI 电池检测仪对氮化硅薄膜的厚度、折射率、表面反射率、表面形貌、电池少子寿命及各项电学性能参数等进行测试。
【机 构】
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内蒙古日月太阳能科技有限责任公司,呼和浩特 010111 内蒙古日月太阳能科技有限责任公司,呼和浩
【出 处】
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第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会
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用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD)技术,在物理冶金多晶硅高效太阳电池表面间断性沉积三层氮化硅薄膜。优化工艺后用于小批量生产高效物理冶金多晶硅太阳电池(156×156mm2)。用椭圆激光偏振仪、紫外可见分光光度计、扫描电镜、少子寿命测试仪及BACCINI 电池检测仪对氮化硅薄膜的厚度、折射率、表面反射率、表面形貌、电池少子寿命及各项电学性能参数等进行测试。
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