论文部分内容阅读
该文讨论一种简易式微波腔体微扰法测量介质薄膜厚度的工作原理。传感器应用圆柱形高Q值的H[*v011*]腔体，使测厚仪具有高精度，且可实现无接触测量，特别适于可塑性介质薄膜厚度的测量。文章还分析测量误差及实验结果。测厚仪测量厚度为＜100μm，精度≤1μm。（本刊录）
简易式微波腔体微扰法介质薄膜厚度仪
【摘 要】
：
该文讨论一种简易式微波腔体微扰法测量介质薄膜厚度的工作原理。传感器应用圆柱形高Q值的H[*v011*]腔体，使测厚仪具有高精度，且可实现无接触测量，特别适于可塑性介质薄膜厚度的
【机 构】
：
厦门大学
【出 处】
：
第三届全国微波应用学术会议
【发表日期】
：
1987年期
其他文献
我国发展严重滞后 迄今为止,我国的企业债券市场事实上是处于被压制状态的。1990年之前,企业债券市场的规模小到几乎可以忽略不计,进入了90年代,其融资规模占企业融资总额的
本文在简要阐述科技情报工作重要性的前提下，结合当前盘锦经济社会转身向海发展的背景，就地方科技情报工作如何服务地区经济社会发展阐明了自己的观点。
本文将对六端口电路完整模型和简化模型两种数学模型的特点进行比较讨论。完整模型有三个方程，需要4个标准件，简化模型只有两个方程，至少需要6个标准件，因而完整模型较好。结合求