【摘 要】
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高速干式切削加工技术的出现以及日益增多的难加工材料，对刀具表面硬质涂层提出了越来越严格的要求，苛刻的服役条件要求硬质涂层除了具备良好的力学及摩擦磨损性能之外(硬
【机 构】
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厦门理工学院金属材料工程系,福建厦门 361024
【出 处】
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第十届全国表面工程大会暨第六届全国青年表面工程论坛
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高速干式切削加工技术的出现以及日益增多的难加工材料，对刀具表面硬质涂层提出了越来越严格的要求，苛刻的服役条件要求硬质涂层除了具备良好的力学及摩擦磨损性能之外(硬质涂层的基本要求)，还必须具备优异的高温抗氧化性能。本文采用原位高温X射线衍射技术，研究了高温氧化过程中ZrAlN涂层的结构演变过程，同时采用扫描电镜、拉曼光谱、俄歇电子能谱仪、透射电镜对位表征了上述涂层高温氧化后的组成结构等变化，以及这些变化对涂层高温抗氧化性能之间的影响。
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