【摘 要】
：
由于全铝结两字比特电路具有较长的消相干时间,用它来构建超导量子计算电路成为研究热点.我们研究了在高阻硅衬底上Al/AlOx/Al隧道结的制备技术.采用电子束蒸发技术原位制备Al/Al-AlOx/Al三层材料;采用光刻技术和不同的湿法刻蚀条件刻蚀出电路轮廓、隧道结结区;PECVD法生长SiO2绝缘层对超导隧道结进行保护;光刻掩膜后溅射一层铝膜,剥离出上电极引线.成功制备出了Al/AlOx/Al隧道结
【机 构】
：
南京大学 超导电子学研究所,南京 210093
论文部分内容阅读
由于全铝结两字比特电路具有较长的消相干时间,用它来构建超导量子计算电路成为研究热点.我们研究了在高阻硅衬底上Al/AlOx/Al隧道结的制备技术.采用电子束蒸发技术原位制备Al/Al-AlOx/Al三层材料;采用光刻技术和不同的湿法刻蚀条件刻蚀出电路轮廓、隧道结结区;PECVD法生长SiO2绝缘层对超导隧道结进行保护;光刻掩膜后溅射一层铝膜,剥离出上电极引线.成功制备出了Al/AlOx/Al隧道结和量子比特样品.
其他文献
本文研究了4节连续可调高温超导滤波器的实现方法及制各.通过改变GaAs可变电容的反向偏置电压实现超导滤波器的频率的连续改变.滤波器设计采用中心跳线方法减小电容的变化对谐振器之间耦合的影响,实现在可调频率范围内相对带宽保持不变.在此基础上,对超导可调滤波器和相应的制冷系统进行了集成,研制了VHF波段的超导可调前端样机.
近年来高温超导微波应用发展迅速,具有极高灵敏度的高温超导微波接收机前端系统已逐步实现工程化应用,在深空探测、通讯等系统中发挥重要作用,因此对于此类极高灵敏度超导接收机系统的极低噪声系数测试就显得尤为重要.常规的噪声测试系统是基于固态噪声源的,本身不确定度大,难以实现极低噪声系数的测量;而现有基于冷热负载的低噪声系数测试系统又仅限于波导带宽的相对窄带,需要多套系统才能覆盖宽带测试.
中国科学院物理研究所研制的高温超导滤波器在我国首颗民用新技术试验卫星——实践九号A星搭载试验取得圆满成功.《超导滤波器验证试验装置》随实践九号卫星于2012年10月14日升空并进入预定轨道,随后的多次在轨测试表明试验装置各单机均工作正常.这是我国超导技术首次成功完成空间试验,使我国成为国际上继美国之后第二个将超导微波器件成功送上太空的国家,表明我国的超导技术应用已跻身国际前列,对超导技术在我国的应
光时域反射计(OTDR)利用探测光在光纤中产生的后向散射与在不连续界面处的菲涅耳反射来获取信息,可用于测量光纤衰减、接头损耗、光纤故障点定位以及了解光纤沿长度的损耗分布情况等,是光缆施工、维护及监测中必不可少的工具.探测器的灵敏度和时间精度决定了系统的动态范围和空间分辨率.常用的OTDR系统使用半导体PIN管或者雪崩管来探测微弱的反射信号.
基于无人机平台的超导航磁测量安全高效,灵敏度高且信息量丰富,探测优势明显.本文研发了一种基于固定翼无人机平台的低温超导磁测系统,该系统集多种物理量传感、采集存储和控制功能于一体,可实现三轴磁场和一阶平面磁梯度的同步测量.该系统静态指标为:磁场噪声水平2.6pT/ Hz,量程大于±91μ,采样率为1kHz,系统重量15kg,持续工作时间大于24小时.
T12Ba2Ca2Cu3O10 (T12223)是Tl系高温超导体中转变温度最高的,达到125K.与T12Ba2Ca1 Cu2O8 (T12212)比较,高质量的T12223薄膜的制备一直很困难.例如,T12212薄膜临界温度约为105K,临界电流密度能够达到2MA/cm2,而且可以在2英寸的基片上制成双面的超导薄膜,适合实际应用.而T12223薄膜转变温度能够达到120K以上,但是,临界电流密度
本文提出一种多传输零点的高温超导滤波器设计方法.该滤波器是L波段带通滤波器,兼具高选择性和线性相位等优势.通过相邻4个谐振器的交叉耦合(CQ结构)引入成对传输零点,其中一对可以改善滤波器的相位特性,另外两对提高滤波器的边带陡峭度.
本文研究了采用溶胶-凝胶法在铝酸镧单晶衬底上生长Tl-2212高温超导薄膜的制备方法.该方法是以乙酸铊、乙酸钡、乙酸钙、乙酸铜为起始原料,以乳酸、α-甲基丙烯酸、二乙烯三胺、甲醇为络合剂及溶剂,制得粘度合适的溶胶.该溶胶具有用料少、制备过程简单,成分易于精确控制等特点.
Tl系高温超导薄膜中,Tl-1223和Tl-2223薄膜的临界转变温度分别达到110K和120K.而Tl-1223和Tl-2223样品的纯度问题直接限制了薄膜的应用.通过磁控溅射和后退火,实验中我们设计了Tl-1223相和Tl-2223相的共生模式,有效的去除了Tl-1223薄膜中的Tl-1212杂相,在氧气和氩气的生长条件下都能获得高纯度的Tl-1223超导薄膜.直流磁场条件下Tl-1223薄膜
由SQUID构建的超导磁传感器需要与高性能的数据采集模块相匹配,才能充分发挥磁测量系统中超导磁传感器的极高灵敏度优势,其中量化精度和电磁兼容是评估超导磁测量数据采集系统性能的关键指标.本文基于新型的低温SBC(SQUID Bootstrap Circuit)分别在超导屏蔽和磁屏蔽环境中对多种常见的数据采集模块的量化精度和电磁兼容进行了定性和定量分析.实验结果表明数据采集模块在无屏蔽环境下对SQUI