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超大规模集成电路工程设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把握主要环节,遵从系统性的观点,采用概念设计的方法,来解决防微振问题.
超大规模集成电路工程设计中的防微振技术
【摘 要】
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超大规模集成电路工程设计的核心问题是微污染控制,防微振作为控制振动污染,在工程设计中占有重要的地位.防微振技术涉及的环节较多,本文提出依据现场测试与工程实践经验,把
【机 构】
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中国电子工程设计院防微振工程设计研究所(北京)
【出 处】
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第五届中国国际(北京)洁净技术论坛
【发表日期】
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2002年期
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