【摘 要】
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蓝宝石是一种用于生产高亮氮化镓基发光二极管衬底片的主流材料。目前有三种生产蓝宝石晶锭和晶片的技术。在这些技术方法中,新兴的类热交换法蓝宝石晶体生长方法将蓝宝石籽
【机 构】
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有能光电科技有限公司; STR Group,Saint-Petersburg,Russia;
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蓝宝石是一种用于生产高亮氮化镓基发光二极管衬底片的主流材料。目前有三种生产蓝宝石晶锭和晶片的技术。在这些技术方法中,新兴的类热交换法蓝宝石晶体生长方法将蓝宝石籽晶放置在位于冷区的坩埚底部[1],蓝宝石晶体生长从坩埚底部开始止于熔体自由表面。这种晶体生长方法大规模生产蓝宝石晶体的经济效率由晶体尺寸,高质量晶片产率和能耗等诸多因素决定。本文应用数值模拟方法对该蓝宝石晶体生长技术进行了分析,进而指出其优点和不足之处。
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