【摘 要】
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真空材料放气率测试装置由抽气系统、双通道气路转换法测量系统、小孔流导气体流量法测量系统、静态定容升压法测量系统、加热及光辐照温度测控系统等五部分组成.使用分子泵
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所,甘肃兰州730000
【出 处】
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中国真空学会质谱分析和检漏专业委员会第十七届年会、中国计量测试学会真空计量专业委员会第十二届年会
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真空材料放气率测试装置由抽气系统、双通道气路转换法测量系统、小孔流导气体流量法测量系统、静态定容升压法测量系统、加热及光辐照温度测控系统等五部分组成.使用分子泵和机械泵串联抽气的方式使测试装置的极限真空度达到了10-9Pa,温度测控范围为23℃～300℃,分别介绍了静态定容升压法、小孔流导气体流量法和双通道气路转换法的测试原理及方法,并对铜金属等几种真空材料在室温和不同温度下的放气率进行了测试.
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