Inline Magnetron Sputtering Equipment with 6000 wph Throughput and Specially Designed Magnetic Field

来源 :2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zjpjwxd

【摘要】

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Summary GENERIS PVD 6000:Throughput 6000 wph Optimized designs for HJT Maximal degree of freedom in process optimization and upgrade 2017/2018 years of pilot,2019 year of starting GW-scale production!

【作者】

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张振昊

【出处】

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2018 年第十四届中国太阳级硅及光伏发电研讨会

【发表日期】

：

2018年11期

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