【摘 要】
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高磁化强度的CoFe合金广泛应用于微电子器件的设计和开发.采用能够低成本、大面积制备薄膜的化学溶液沉积方法(CSD),并在不同强度的强磁场下制备了Co70Fe30薄膜,通过对薄膜的
【机 构】
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中国科学院固体物理研究所材料物理重点实验室
【出 处】
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第三届全国电磁冶金与强磁场材料科学会议
论文部分内容阅读
高磁化强度的CoFe合金广泛应用于微电子器件的设计和开发.采用能够低成本、大面积制备薄膜的化学溶液沉积方法(CSD),并在不同强度的强磁场下制备了Co70Fe30薄膜,通过对薄膜的微结构、磁性能系统研究,观察到强磁场下制备的Co70Fe30薄膜呈现较小的晶粒尺寸,较高的致密性和较大的饱和磁化强度.薄膜中缺陷的降低导致了磁性能显著增.为今后进一步开展强磁场下其它合金薄膜制备与研究奠定了一定基础.
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