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本文总结了半导体静电损伤的原理和防护技巧。静电放电对半导体器件的危害广泛而深刻，其失效机理原因各异。还必须进一步加强对半导体器件的静电防护理论研究，用新的理论有效地指导实践，不断提高半导体元器件的抗END能力。
半导体器件的抗静电性能分析
【摘 要】
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本文总结了半导体静电损伤的原理和防护技巧。静电放电对半导体器件的危害广泛而深刻，其失效机理原因各异。还必须进一步加强对半导体器件的静电防护理论研究，用新的理论有
【机 构】
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华南理工大学电子与信息学院,广州510640
【出 处】
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2011’全国半导体器件产业发展、创新产品和新技术研讨会
【发表日期】
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2011年期
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