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在合成金刚石的过程中,热力学特性对金刚石的合成有着重要的影响。本文介绍金刚石合成工艺及其对控制策略的要求,并提出一种新型的在线调整参数的变参数模糊自整定PID控制策略。仿真结果表明,该模糊自整定PID控制器不仪具有PID控制器的优点,还克服了系统响应速度慢、超调量较大等缺点,是一种性能优良的控制器。