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The Characteristics of a 1-Inch High Power Impulse Magnetron Sputtering (HiPIMS) System
【机 构】
:
National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba, Japan
【出 处】
:
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
:
2011年期
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