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会议论文
LCD真空贴合基板粘附和剥离单元的研制
LCD真空贴合基板粘附和剥离单元的研制
来源 :2012中国机构与机器科学国际会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ruyingxiangsui1989
【摘 要】
:
介绍了AESUV-110LCD真空贴合装置的构成和工艺流程,分析ESC定盘存在的问题,优化了真空贴合工艺流程。设计并测试完成了新型的基板粘附和剥离单元,确认其结构和性能满足使用
【作 者】
:
盛洪奇
季卫坤
张青
【机 构】
:
上海交通大学 上海 200240
【出 处】
:
2012中国机构与机器科学国际会议
【发表日期】
:
2012年期
【关键词】
:
LCD
真空
贴合
基板
粘附
剥离
单元
工艺流程
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介绍了AESUV-110LCD真空贴合装置的构成和工艺流程,分析ESC定盘存在的问题,优化了真空贴合工艺流程。设计并测试完成了新型的基板粘附和剥离单元,确认其结构和性能满足使用要求。
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