【摘 要】
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众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气(99.99999％)，主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大最的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。本文介绍了金属钯膜透氢机理和研究工作进展，分析了工作流程及原料气要求。
【机 构】
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中国科学院大连化学物理研究所,大连 116023
【出 处】
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中国动力工程学会工业气体专业委员会2009年技术论坛
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众所周知，半导体和电子等行业使用的超高纯氢气(99.99999％)，主要是采用金属钯管纯化制备的。由于贵金属钯管的厚度至少在100～200微米，不仅消耗大最的贵金属钯，而且具有很低的透氢量，因此，其应用领域受到很大限制。本文介绍了金属钯膜透氢机理和研究工作进展，分析了工作流程及原料气要求。
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