全数字式容栅位移传感器及其速度极限分析

来源 :第八届敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dsfgsdfwe
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全数字式容栅位移传感器具有结构简单性价比高等优点,但提高分辨率和灵敏度与提高动尺相对定尺的运动速度是一对矛盾.本文介绍了全数字式容栅位移传感器的系统构成和工作原理,分析了极板参数对速度极限和灵敏度的影响,最后给出了部分实验数据.
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基于生物酶催化的电化学电流检测原理对人体血液生化参数进行测试.利用MEMS技术将电极、酶、反应室以及微型流路等单片集成,研制单一生物芯片的多电极酶传感器目的是同时测定人体血液的多个生化参数.本文将主要介绍传感器芯片的工作原理、结构设计、加工技术及初步实验结果,其中葡萄糖在磷酸盐缓冲盐水(PBS)中的测试范围为1~30mM,可以满足临床血糖检测的要求.
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