VLSI超纯水系统重点参数模式曲线的日常管理方法

来源 :'2003全国水处理技术研讨会暨第23届年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：sun0603

【摘要】

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本文以清华大学微电子学研究所VLSI用10mh超纯水系统的3年运行数据为例,介绍了笔者总结的重点参数模式曲线的日常管理方法,利用中央监控计算机自动采集数据的功能,结合EXCEL

【作者】

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刘朋;陈为红;杨宝和;

【机构】

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清华大学微电子学研究所

【出处】

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'2003全国水处理技术研讨会暨第23届年会

【发表日期】

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2003年期

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本文以清华大学微电子学研究所VLSI用10m<3>h超纯水系统的3年运行数据为例,介绍了笔者总结的重点参数模式曲线的日常管理方法,利用中央监控计算机自动采集数据的功能,结合EXCEL、ACCESS等办公软件,大大提高了数据处理的效率,通过建立的模式曲线可以实现对设备状态预测、预警、评价解决问题措施的效果等功能.本方法对从事超纯水系统的管理人员和监控系统的设计人员,都有较好的借鉴和指导意义.

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