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本文采用真空电子器件使用原材料及各生产工艺的可靠性数据，根据器件的失效模式和可靠性理论，运用数理统计的多元回归分析方法，找出影响基本失效率的排气、阴极、电子枪三个关键变量，得出定量评价此类器件固有可靠性的数学模型，并对表征可靠性水平的数学模型和模型验证进行讨论。这是对目前真空电子器件主要用寿命试验方法进行可靠性评价之外另一途径的尝试和探讨。