【摘 要】
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CVD SiC涂层广泛应用于第3代轻型反射镜上.本文利用CVD法在先驱体转化SiCp/SiC基体上制备出了致密SiC涂层,探讨了温度对涂层沉积速率的影响;通过扫描电镜(SEM)和X-射线衍射分
【机 构】
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国防科技大学航天与材料工程学院国防科技重点实验室(长沙)
【出 处】
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中国空间科学学会空间材料专业委员会'2002学术交流会
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CVD SiC涂层广泛应用于第3代轻型反射镜上.本文利用CVD法在先驱体转化SiCp/SiC基体上制备出了致密SiC涂层,探讨了温度对涂层沉积速率的影响;通过扫描电镜(SEM)和X-射线衍射分析(XRD)对涂层的显微结构和晶型进行了分析;探讨了涂层的致密性对反射镜光学精度的影响;成功制备出了SiC反射镜.
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