【摘 要】
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给出三维Monte Carlo模型模拟NiTi合金薄膜在四边形基底上的生长.本模型将薄膜生长归纳为原子在表面上的沉积,扩散,脱附3个主要的热运动过程,各过程发生的概率由各自的速率所
【机 构】
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大连理工大学运载工程与力学学部工程力学系,大连116024
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给出三维Monte Carlo模型模拟NiTi合金薄膜在四边形基底上的生长.本模型将薄膜生长归纳为原子在表面上的沉积,扩散,脱附3个主要的热运动过程,各过程发生的概率由各自的速率所决定.采用嵌入原子势(EAM)计算原子发生扩散前后系统的总能量的变化,本模型研究了不同沉积速率,基体温度及原子覆盖度对NiTi薄膜表面形貌和表面粗糙度的影响.
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