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近空间升华技术制备CdTe 多晶薄膜中，薄膜的结构、性质决定于整个沉积过程。深入研究沉积过程中的热交换、物质输运，有助于制备薄而致密的具有进行良好光电性质CdTe 薄膜。本文首先分析了近空间沉积的物理机制，然后测量了近空间沉积装置内温度分布，讨论了升温过程、气压与薄膜的初期成核的关系，优化升温过程，在此基础上制备出了转换效率为6.46﹪的结构为SnO2:F/CdS/CdTe/Au 的集成电池。