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<正> CVD金刚石薄膜具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能,然而,常规CVD金刚石薄膜是由微米级(几微米到几十微米)柱状多晶组成的,因而薄膜表面十分粗糙,作为耐磨涂层,高粗糙度使薄膜表面摩擦系数大幅
纳米金刚石薄膜的制备与应用
【摘 要】
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<正> CVD金刚石薄膜具有十分接近天然金刚石的硬度、高的弹性模量、极高的热导率、良好的自润滑性和化学稳定性等优异性能,然而,常规CVD金刚石薄膜是由微米级(几微米到几十微
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院; 上海交通大学微纳米技术研究院; 上海交友钻石涂层有限公司;
【发表日期】
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2004年期
【基金项目】
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国家863计划新材料领域纳米专项与微机电系统资助项目(2002AA302613);上海市科技发展基金纳米专项(0159nm033)资助项目;国家自然科学基金资助项目(50275095)。
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