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用倒易二维点阵图进行了用溅射CdTe的方法钝化HgCdTe前后晶体结晶度的变化,发现在较高溅射能量下,HgCdTe的晶面出现弯曲,有少量mosaic结构出现,随着钝化厚度的增加,晶面出现严重弯曲,并且出现大量mosaic结构,而在较低的溅射能量下沉积可获得较高的晶体完整度.
HgCdTe的CdTe钝化介质层对其倒易二维点阵图的影响
【摘 要】
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用倒易二维点阵图进行了用溅射CdTe的方法钝化HgCdTe前后晶体结晶度的变化,发现在较高溅射能量下,HgCdTe的晶面出现弯曲,有少量mosaic结构出现,随着钝化厚度的增加,晶面出现
【机 构】
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中国科学院上海技术物理所功能材料器件中心(上海)
【出 处】
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2003年全国光电技术学术交流会暨第十六届全国红外科学技术交流会
【发表日期】
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2003年期
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