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随着半导体工业的迅猛发展,真空设备的真空度要求越来越高,检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应提高。在提供原有产品的同时,世界各国的氦质谱检漏仪生产商正努力将产品向高灵敏度、便携式、自动化、宽量程、无油系统等方向发展。本文主要介绍国外的氦质谱检漏仪生产商及其产品,谨供国内同行参考。
国际市场上氦质谱检漏仪现状
【摘 要】
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随着半导体工业的迅猛发展,真空设备的真空度要求越来越高,检测真空漏率的氦质谱检漏仪的技术指标也在相应提高。在提供原有产品的同时,世界各国的氦质谱检漏仪生产商正努力
【机 构】
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中国科学院电工研究所;
【发表日期】
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2004年期
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