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微波电子回旋共振（Ｅｌｅｃｔｒｏｎ Ｃｙｃｌｏｔｒｏｎ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ，ＥＣＲ）等离子体源的电离度高，化学活性好。因此，它是薄膜淀积、微细加工和材料表面改性的一种新方法。它应用于分子束外延，可以生长Ⅲ－Ⅴ族氮化物材料，如：ＧａＮ、ＡＩＮ、ＢＮ等。该文将介绍在国内首次研制成功的ＭＢＥ的微波电子回旋共振等离子体源（ＭＢＥ ＥＣＲ－Ｃｅｌｌ）。