φ英寸掺Si水平砷化镓单晶的试制

来源 :第四届中国功能材料及其应用学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：liongliong557

【摘要】

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我们成功地制备出了直径为2.5英寸水平砷化镓单晶,其多种重要参数均符合要求.在实验中,我们采用了自行研制的新型水平单晶炉,这种水平炉具有一个特殊的加热装置,通过此加热装

【作者】

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于洪国武壮文尤宏涛马明礼

【机构】

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国瑞电子材料有限责任公司(河北廊坊)

【出处】

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第四届中国功能材料及其应用学术会议

【发表日期】

：

2001年期

【关键词】

：

英寸砷化镓单晶加热装置实验控制界面单晶炉直径粘结形状位置石英炉具合格措施参数

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我们成功地制备出了直径为2.5英寸水平砷化镓单晶,其多种重要参数均符合要求.在实验中,我们采用了自行研制的新型水平单晶炉,这种水平炉具有一个特殊的加热装置,通过此加热装置,可以有效地控制界面的形状和位置.另外,在实验中,我们也解决了石英舟粘结和砷压起伏问题.通过采取以上措施,我们能够比较容易的制备出合格的单晶.

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