【摘 要】
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X射线荧光(XRF)可以用于薄膜和镀层试样中组分和厚度的同时测定，不少人了解甚少。本文首先分析了X射线荧光计算薄膜及镀层样品强度的原理，然后简单介绍了不同类型的薄膜和镀层试样用软件进行分析的应用实例，最后指出XRF分析技术能对多层薄膜及镀层试样组分和厚度的同时测定，为现代无机材料的研究提供了一个有力的检测手段。
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所,上海定西路1295号 200050
【出 处】
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帕纳科中国第十届X射线分析仪器用户技术交流会
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X射线荧光(XRF)可以用于薄膜和镀层试样中组分和厚度的同时测定，不少人了解甚少。本文首先分析了X射线荧光计算薄膜及镀层样品强度的原理，然后简单介绍了不同类型的薄膜和镀层试样用软件进行分析的应用实例，最后指出XRF分析技术能对多层薄膜及镀层试样组分和厚度的同时测定，为现代无机材料的研究提供了一个有力的检测手段。
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