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随着无线通信技术在全世界范围内迅猛发展,射频微电子机械系统(RF-MEMS)技术在通信设备中的应用及其前景日益广阔.概述了用于无线通信设备的MEMS器件的性能,指出MEMS技术是解决移动通信设备小型化和低功率化的根本途径之一.近年来MEMS器件的材料及其加工技术取得了突破性进展,无线通信设备正朝着小型化、低功耗、低成本、高性能、更便捷等方向发展,因而将MEMS技术应用于移动通信设备的小型化和低功耗化等方面具有十分重要的现实意义.