【摘 要】
：
本文采用高压高功率的VHF-PECVD技术在沉积速率～1.2nm/s时沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅薄膜。通过测试该系列材料的Raman谱,XRD和AFM,研究了高速沉积本征微晶硅薄膜的微
【机 构】
：
南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电信息技术科学教育部重点实验室,光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室;
【基金项目】
：
国家重点基础研究发展计划项目(2006CB202602和2006CB202603);科技部国际合作重点项目(2006DFA62390);国家科技计划配套项目(07QTPTJC29500)的资助
论文部分内容阅读
本文采用高压高功率的VHF-PECVD技术在沉积速率～1.2nm/s时沉积了一系列不同厚度的本征微晶硅薄膜。通过测试该系列材料的Raman谱,XRD和AFM,研究了高速沉积本征微晶硅薄膜的微结构特性。结果表明,当厚度小于1μm时,随厚度增加薄膜的晶化率和晶粒尺寸都有明显增加,而厚度大于1μm后,薄膜的晶化率和晶粒尺寸都变化不大。然而当电池中本征层的厚度由1μm增加到2μm时电池的性能却有明显的变化。针对该问题及高速沉积本身存在的离子轰击作用强的特点,本文通过改变沉积微晶硅薄膜过程中的工艺参数控制了微结构的变化,提高了薄膜质量和电池效率。最后制备得到沉积速率为1.2nm/s,转换效率为9.36%的单结微晶硅太阳电池,将其应用到叠层电池中制备得到效率为11.14%的非晶硅/微晶硅叠层电池。
其他文献
目的探讨甲巯咪唑治疗甲状腺功能亢进引起粒细胞缺乏症的临床特点及治疗对策。方法回顾分析某大型综合医院内分泌科收治的因使用甲巯咪唑致粒细胞缺乏症3例住院病例的临床资
极简主义带给人们放松的感受,深受人们的喜爱,极简主义也逐渐被应用在室内设计中,形成了一种独特的设计风格。基于此,本文首先分析了极简主义设计的要求和特征,最后研究了在
目的建立气相色谱法测定苯甲醇的含量。方法采用Rtx-Wax气相毛细管柱(0.25 mm×30 m,0.25μm),FID检测器,柱温130℃;进样口温度为200℃;检测器温度230℃。结果苯甲醇在0.543
针对创新性产品,提出并深入研究了零库存的概念,建立了适合企业生产及库存预测的电子商务供应链模型,实现产品的生命周期与零库存的无缝链接。设计并构造了变步长自构型神经
介绍了以混合二元酸、甲醇为原料,采用阳离子交换树脂NKC-9为催化剂,经预酯化和连续酯化制备混酸二甲酯,结果表明:当m(NKC-9催化剂)∶m(混合二元酸)=8%时,混合二元酸预酯化转
目的观察长期高盐饮食/感觉神经（CSSN）变性2个复合因素对Wistar大鼠心脏功能的影响。方法随机选取18只新生雄性Wistar大鼠,第1天和第2天分别皮下注射辣椒素50 mg/kg,再随机选取
本文利用分层空间桁架法对风荷载作用下的通信三管塔进行理论计算,得出三管塔的塔柱内力与塔架位移。通过SAP2000仿真软件建立三管塔有限元模型,利用虚面法与刚性隔板两种方
室内空气中甲醛已经成为影响人类身体健康的主要污染物,装修带来的甲醛污染越来越引起人们的高度重视,传统的甲醛检测方法,酚试剂分光光度法由于检测周期长,采样和实验繁琐,
<正>从十几年的班主任之路走来,我听到最多的问题是,为什么你当了十几年的班主任依然能温柔、从容、优雅?为什么从未见你对孩子们发过火,而孩子们又能够遵规守矩?为什么你带
近来，欧洲主要国家经济遭受冲击，意大利、法国、德国纷纷自行打开“急救包”，从欧央行到欧元集团，各方正在抓紧协调，为刺激经济准备“特效药”。$$种种迹象显示，受新冠肺炎疫情影响