论文部分内容阅读
用积聚式缓慢地退火方法在较低的温度下(390℃)成功地获得了用智能剥离技术形成的SOI结构。用红外透射成象技术分析了智能剥离的准动态过程。由于H在硅中对硅器件的抗辐照性能有很大影响，用红外付立叶谱分析了注入在硅中的H离子在剥离过程中的行为，表明没有明显的Si-H键的存在。
智能剥离SOI材料的制备过程研究
【摘 要】
：
用积聚式缓慢地退火方法在较低的温度下(390℃)成功地获得了用智能剥离技术形成的SOI结构。用红外透射成象技术分析了智能剥离的准动态过程。由于H在硅中对硅器件的抗辐照性
【机 构】
：
复旦大学电子工程系(上海)
【出 处】
：
第六届全国抗辐射电子学与电磁脉冲学术交流会
【发表日期】
：
1999年期
其他文献
小麦和棉花是惠民地区的主要粮食和经济作物,也是我区发展经济的优势项目。随着粮食生产的不断发展,麦棉争地的矛盾越来越突出,为了解决这个问题,我们在晚播小麦覆膜栽培研
该文在现有的Ａｇｅｎｔ个体模型的原理上，提出了一种基于Ａｇｅｎｔ的社会结构模型，并介绍研究人员在开发卫星故障诊断系统（Ｓａｔｅｌｌｉｔｅ Ｆａｕｌｔ Ｄｉａｇｎｏｓｉｓ Ｓｙｓｔｅｍ：ＳＦＤＳ）中的应用情况。
该文简述了一种基于89C51单片机的CAMAC智能型事件触发逻辑部件，通过预分析程序对来自端的事件触发信号进行筛选，从而达到对数据的压缩并有效地提高数据获取系统的效率。
目的探讨新辅助化疗联合保肢手术治疗骨肉瘤的临床疗效。方法 40例四肢骨肉瘤患者随机分为试验组和对照组,试验组患者采用新辅助化疗联合保肢手术治疗,对照组患者采用截肢手
学生犯了错误,教师如果批评得过于严厉,会挫伤其自尊心,甚至引起对抗;而如果批评不力,平平淡淡又不能震撼其心灵,他就会觉得无所谓.因此,教师必须从爱护学生出发,尽量给学生
该文在仿人智能控制器的框架结构原理之后，取PID之长，提出一种比例、积分、微 分功能完全分离，具有开环控制的主动性、微分控制的强制性、积分控制的激励性和反馈控制的监控性的
在我国走向现代化的过程中,面对全球经济一体化不断加快的进程,面对外来“动漫文化”和“快餐文化”的挑战,发现、传承、保护和发展非物质文化遗产,就是坚守文化之根、民族之
该文研究了一种将模逻辑和神经网络等智能技术用于ＰＩＤ参数自整定的智能ＰＩＤ控制器，并利用遗传算法实现该控制器的自组织和优化设计，通过对小车－倒摆系统和二阶加纯时滞对象的控制仿真，表