氧气分压和衬底温度对掺杂铝氧化锌透明导电薄膜性能的影响

来源 :2017中国(赣州)国际新能源汽车动力电池高峰论坛暨第九届中国储能与动力电池及其关键材料学术研讨与技术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：hehe521_

【摘要】

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通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的结构和光电性能的影响.X-射线衍射研究表明铝

【作者】

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彭光怀李金琼温和瑞廖金生洪瑞金

【机构】

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江西理工大学冶金与化学工程学院,江西赣州,341000

【出处】

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2017中国(赣州)国际新能源汽车动力电池高峰论坛暨第九届中国储能与动力电池及其关键材料学术研讨与技术交流会

【发表日期】

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2017年10期

【关键词】

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铝掺杂氧化锌透明导电薄膜直流磁控溅射氧气分压衬底温度光电性能

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通过直流磁控溅射法在玻璃衬底上制备了一系列铝掺杂氧化锌透明导电薄膜,研究了氧气分压和衬底温度对铝掺杂氧化锌透明导电薄膜的结构和光电性能的影响.X-射线衍射研究表明铝掺杂氧化锌薄膜是沿c-轴方向堆积的具有六方结构的多晶薄膜,实验获得的最佳沉积衬底温度和氧分压分别为400℃和5∶100(O2/Ar),在该条件下制备的铝掺杂氧化锌薄膜具有较低的表面电阻(＜80Ω/口)和较高的平均透过率(＞80％).

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