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硅基微燃料电池中电极层的研究
硅基微燃料电池中电极层的研究
来源 :第八届敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ilqiqi2010
【摘 要】
:
介绍一种基于MEMS技术的硅微燃料电池,并对其核心部件—电极层进行了研究.利用多孔硅疏松多孔的特性,及IC加工的兼容性,使其作为微燃料电池的电极扩散层,优化了其制备工艺,并
【作 者】
:
王晓红
谢克文
周俊
刘理天
【机 构】
:
微电子学研究所,清华大学(中国北京)
【出 处】
:
第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
2003年期
【关键词】
:
硅基
硅微燃料电池
多孔硅
电极扩散层
制备工艺
沉积工艺
膜表面
金属铂
兼容性
电极层
优化
特性
疏松
加工
技术
部件
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介绍一种基于MEMS技术的硅微燃料电池,并对其核心部件—电极层进行了研究.利用多孔硅疏松多孔的特性,及IC加工的兼容性,使其作为微燃料电池的电极扩散层,优化了其制备工艺,并对多孔硅膜表面金属铂的沉积工艺进行了研究.
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